|
| Обозначение стандарта: | ГОСТ Р 52250-2004 |
|
| Статус стандарта: | действующий |
|
| Название рус.: | Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия |
| | Название англ.: | Electronic engineering materials. Resists for lithography processes. General specifications |
| |
| | Дата введения в действие: | 01.01.2005 |
| | Область и условия применения: | Настоящий стандарт распространяется на резисты литографических процессов производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем |
| | c=&f2=3&f1=II001&l='>ОКС Общероссийский классификатор стандартовc=&f2=3&f1=II001071&l='>71 ХИМИЧЕСКАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬc=&f2=3&f1=II001071080&l='>71.080 Органические химические веществаc=&f2=3&f1=II001071080099&l='>71.080.99 Органические химические вещества прочиеc=&f2=3&f1=II002&l='>КГС Классификатор государственных стандартовc=&f2=3&f1=II002019&l='>Э Электронная техника, радиоэлектроника и связьc=&f2=3&f1=II002019001&l='>Э1 Радиотехнические материалыc=&f2=3&f1=II002019001000&l='>Э10 Классификация, номенклатура и общие нормы
|
|
