|
| Обозначение стандарта: | ГОСТ 5.2105-73 |
|
| Статус стандарта: | действующий |
|
| Название рус.: | Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции |
| | Название англ.: | Laser ellipsometric microscope ЛЭМ-2. Quality requirements of sertified products |
| |
| | Дата введения в действие: | 01.09.1973 |
| | Область и условия применения: | Настоящий стандарт распространяется на лазерный эллипсометрический микроскоп ЛЭМ-2, предназначенный для определения эллипсометрических параметров поляризованного света, определяемых по углам поворота оптических элементов в момент погасания, что позволяет использовать прибор для измерения толщины и показателя преломления прозрачных диэлектрических покрытий на отражающих полированных поверхностях различных материалов и, в частности, на полупроводниковых пластинах, а также для контроля равномерности и однородности диэлектрических пленок по площади и определения наличия и толщины окисла в окнах, вытравленных в процессе изготовления полупроводниковых приборов |
| | c=&f2=3&f1=II001&l='>ОКС Общероссийский классификатор стандартовc=&f2=3&f1=II001031&l='>31 ЭЛЕКТРОНИКАc=&f2=3&f1=II001031260&l='>31.260 Оптоэлектроника. Лазерное оборудование *Включая фотоэлементыc=&f2=3&f1=II002&l='>КГС Классификатор государственных стандартовc=&f2=3&f1=II002019&l='>Э Электронная техника, радиоэлектроника и связьc=&f2=3&f1=II002019007&l='>Э7 Технологическое и контрольно-испытательное оборудование для изготовления и контроля качества изделий радиоэлектроникиc=&f2=3&f1=II002019007002&l='>Э72 Контрольно-испытательное оборудование для контроля качества изделий электронной и радиопромышленности
|
|
